低溫真空烘箱是在負壓下干燥物料的箱式干燥設備。它利用真空泵抽取空氣和濕度，從而在工作室內形成真空狀態，降低水的沸點，加快干燥速度。廣泛用于醫藥、食品、輕工、化工、電子等行業的干燥。它具有干燥速度快、污染小、不損害干燥產品內在質量等優點。低溫真空烘箱先抽真空再升溫加熱的原因：
1)工件放入真空箱里抽真空是為了抽去工件材質中可以抽去的氣體成分。如果先加熱工件，氣體遇熱就會膨脹。由于真空箱的密封性非常好，膨脹氣體所產生的巨大壓力有可能使觀察窗鋼化玻璃爆裂。這是一個潛在的危險。按先抽真空再升溫加熱的程序操作，就可以避免這種危險。
2)如果按先升溫加熱再抽真空的程序操作，加熱的空氣被真空泵抽出去的時候，熱量必然會被帶到真空泵上去，從而導致真空泵溫升過高，有可能使真空泵效率下降。
3)加熱后的氣體被導向真空壓力表，真空壓力表就會產生溫升。如果溫升超過了真空壓力表規定的使用溫度范圍，就可能使真空壓力表產生示值誤差。
正確的使用方法應該先抽真空再升溫加熱。待達到了額定溫度后如發現真空度有所下降時再適當加抽一下。這樣做對于延長設備的使用壽命是有利的。
真空烘箱的發展還要重視節能和能量綜合利用，如采用各種聯合加熱方式，移植熱泵和熱管技術，開發太陽能干燥機等；還要發展干燥機的自動控制技術、以保證*操作條件的實現；另外，隨著人類對環保的重視，改進干燥機的環境保護措施以減少粉塵和廢氣的外泄等，也將是需要深入研究的方向。
